クリーンルーム測定
- クリーンルーム内の清浄度が、設計基準を満たしているかを確認するための測定を行います。測定には、適切に校正されたパーティクルカウンターを使用します。設計値どおりの清浄度を確保することで、室内環境の安定化や製品品質の維持につながります。
清浄度測定
- HEPAフィルタに漏洩（リーク）がないかを確認するための測定を行います。測定には、適切に校正されたパーティクルカウンターを使用します。試験用ダストを発生させ、HEPAフィルタの枠周辺および濾材面を一定時間走査することで、設置状態やフィルタの欠損の有無を精密に確認します。漏洩が認められない場合、フィルタ性能が維持されていることを高い確度で証明できます。
リーク測定
- クリーンルーム内の各室で、換気回数が基準通り確保されているかを確認します。測定により、汚染物質の除去や適切な清浄度維持に必要な風量が得られているかを評価します。また、フィルター面および各吹出し口における風量・風速のばらつきを確認することで、空気の流れが均一に保たれているかを判断します。
風量測定
- 微細なミストを発生させ、クリーンルーム内の気流の流れを確認します。また、室間の気流を確認することで、差圧が適切に維持されているかを評価し、汚染空気の逆流防止や清浄区域の保全に役立てることができます。
気流可視化試験
- 制御対象エリアの温度、湿度が規定値の範囲内に保たれているかを測定し確認します。温湿度を適正に維持することで、製品品質や製造効率の維持につながります。また、温湿度が不適切な場合に発生する、材料の膨張・収縮、硬化・軟化、さらには設備機器の故障や不具合を防止する役割を担っています。
温湿度測定